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    六自由度準共光程雷射干涉儀之開發
    • 機械工程系 /103/ 碩士
    • 研究生: 潘思汶 指導教授: 謝宏麟
    • 本研究提出一套以準共光程光路架構為設計概念的新式雷射干涉儀,用以進行六自由度位移及旋轉角量測。此套干涉儀系統結合外差、光柵剪切、麥克森干涉術等技術,具備高解析度、高穩定度及六自由度(6-DOF)之量…
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