檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "grating".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="外差"
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本研究提出一套以準共光程光路架構為設計概念的新式雷射干涉儀,用以進行六自由度位移及旋轉角量測。此套干涉儀系統結合外差、光柵剪切、麥克森干涉術等技術,具備高解析度、高穩定度及六自由度(6-DOF)之量…